论文部分内容阅读
本文对SMIF隔离技术的洁净微环境进行了研究。文章围绕SMIF/隔离技术原理及功用、SMIF的主要技术参数及关键技术、国内外SMIF系统发展现状及市场前景分析进行了论述。
SMIF隔离技术的洁净微环境——洁净技术的新发展
【摘 要】
：
本文对SMIF隔离技术的洁净微环境进行了研究。文章围绕SMIF/隔离技术原理及功用、SMIF的主要技术参数及关键技术、国内外SMIF系统发展现状及市场前景分析进行了论述。
【机 构】
：
江苏苏净集团有限公司
【出 处】
：
第八届中国国际洁净技术论坛
【发表日期】
：
2005年10期
其他文献
在煤矿,虽然健康和安全标准已得到稳步的提高,但是为了达到更高的生产水平,仍需寻求进一步改善健康与安全标准以及相应的技术.目前在采掘工作面的作业中,面临的主要问题是粉