电子轰击装置聚焦性能调试和硼膜的初步试制

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用普通真空电阻加热蒸发方法制备一般的靶较合适,对高熔点金属和金属氧化物的蒸发,需要用一些特殊的加热技术。电子轰击是一项重要的加热技术。本工作是利用原有一台自制的电子轰击加热蒸发系统,通过改进电子聚焦性能,试制了自支撑硼膜。 General vacuum resistance heating evaporation method to prepare a general target more appropriate, high melting point metal and metal oxide evaporation, the need to use some special heating technology. Electron impact is an important heating technique. This work is the use of a homemade electronic bombardment heating evaporation system, by improving the electronic focusing performance, trial production of self-supporting boron film.
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