【摘 要】
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为了提高磁控管阴极的工作性能,采用新型La2O3/Y2O3-Gd2O3-ZrO2难熔盐浸渍W基制备直热式阴极,并对该阴极的热发射特性和寿命特性等进行了测试。热发射测试结果表明,La2O3-Gd2
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科学院大学
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为了提高磁控管阴极的工作性能,采用新型La2O3/Y2O3-Gd2O3-ZrO2难熔盐浸渍W基制备直热式阴极,并对该阴极的热发射特性和寿命特性等进行了测试。热发射测试结果表明,La2O3-Gd2O3-ZrO2浸渍阴极在1600℃可提供超过0.18 A/cm^2的空间电荷限制区电流密度。在同等发射电流下,该浸渍阴极的工作温度比纯W阴极降低至少300℃,该阴极在1750℃,0.5 A/cm^2直流负载下,可以连续工作2100 h。当以Y2O3代替La2O3,采用相同的配比制备阴极时,1400℃、1700℃下即
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