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本文提出了一种基于干涉条纹相原理的非接触式表面形貌测量方法，并建立了干涉显微镜－微机检测三维轮廓成像系统。探讨分析了多步移相检测原理与方法，以及误差补偿的方法，并编制了相应的补偿软件，该检测系统使普通的６ＪＡ型干涉显微镜，在技术上大大提高了档次，使其成为高品质与高功能的检测系统。
三维轮廓干涉条纹移相技术中误差补偿的研究
【摘 要】
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本文提出了一种基于干涉条纹相原理的非接触式表面形貌测量方法，并建立了干涉显微镜－微机检测三维轮廓成像系统。探讨分析了多步移相检测原理与方法，以及误差补偿的方法，并编制了
【机 构】
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同济大学机械学院,浙江大学
【出 处】
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建筑机械：上半月
【发表日期】
：
1996年3期
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