【摘 要】
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在我国洁净室技术起始于上世纪60年代,当时,洁净室技术是为满足军工、精密仪器、航空仪表和电子行业的产品质量需求,满足这些行业加工和实验研究的精密化、微型化、纯度、质
【机 构】
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电子科技大学自动化工程学院,中国铁道科学研究院电子计算技术研究所
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在我国洁净室技术起始于上世纪60年代,当时,洁净室技术是为满足军工、精密仪器、航空仪表和电子行业的产品质量需求,满足这些行业加工和实验研究的精密化、微型化、纯度、质量和可靠性而诞生的一门新兴技术[1]。利用PID控制原理,基于STEP7和WINCC的串级PID来控制风柜的阀门,从而实现对被控区域温湿度精准的控制。该系统控制方案已经应用于某实验室的洁净室控制风柜,使用结果表明,该系统控制方案具有控制方便,控制效果好,响应速度快,稳定度高,精度高等优点,且各项性能指标均符合要求。
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