【摘 要】
：
金刚石膜具有能够媲美单晶金刚石的优异物理化学性能,同时能够满足大尺寸的制备要求,是理想的红外窗口和芯片散热材料.本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备,研究了
【机 构】
：
中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波315201
论文部分内容阅读
金刚石膜具有能够媲美单晶金刚石的优异物理化学性能,同时能够满足大尺寸的制备要求,是理想的红外窗口和芯片散热材料.本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备,研究了不同沉积温度和甲烷浓度对金刚石膜沉积的影响,并通过SEM和Raman对其进行了表征分析.结果 表明,当沉积温度过高时,会导致等离子体中的活性粒子能量增大,从而使金刚石晶粒变大;当沉积温度过低时,会造成金刚石膜中的石墨相含量增加.甲烷浓度的变化会引起环境中含碳基团浓度的变化,影响原子氢对石墨相的刻蚀作用,进而导致金刚石膜内石墨相含量的明显变化,影响金刚石膜质量.本文最终选用850℃的沉积温度和5.0％的甲烷浓度作为金刚石膜生长的沉积参数,通过长时间生长成功制备了直径76.2 mm的金刚石自支撑膜,并对其进行了XRD和红外透过性能测试.红外透过测试结果表明制备的自支撑金刚石膜在8～12 μm波段透过率良好,平均透过率达到了56.8％.
其他文献
随着人民生活水平的提高,人们对饮食问题越来越关注.但是西藏自治区善药监察工作起步晚,善药来自四面八方,加上硬件软件条件跟不上善药监察工作的需要,善药的残留在一定程度
对引自内地的三个北虫草菌株进行菌种、培养基筛选和栽培试验.结果表明,西藏拉萨的气候条件完全适合北虫草的栽培,改善和优化栽培条件可以在西藏拉萨产出优质北虫草.
引入西藏高原林芝地区的加里福尼亚兔和中国白兔与生活在低海拔的新西兰兔和SPF新西兰兔进行了血细胞参数的比较,结果显示:不同品种家兔的血细胞参数在公兔与公兔之问、母兔
西藏的基础是农牧业,农牧民占全区总人口的80％以上.特殊的地理环境和历史因素等综合限制因素的制约,造成了农牧民素质偏低的现状,西藏发展的根本在于提高农牧民素质.
畜牧业是我国西部地区的一项优势产业,随着畜禽规模化养殖的迅猛发展,人们环境保护意识的逐渐增强,环境污染控制关系到畜牧业能否可持续发展.本文通过对西部地区发展畜牧业过
食用菌营养丰富,口味鲜美,已逐渐成为人们餐桌上的新宠,是一个越来越受到重视的朝阳产品.本文对西藏食用菌产业现状、发展趋势进行了简要的分析,并从如何发展的角度对西藏食
本研究旨在从主要物质和能量代谢方面揭示高海拔引起牛生产性能低下的问题.利用实地测试取样,对西藏农区14头牛的N平衡、能量物质、主要常量元素、微量元素、FHP、ADE、AME、
叶利钦去世以后,千秋功过,世人评说,俄罗斯科学院院士、人民友谊大学东方学院院长、历史系主任马斯洛夫·阿列科赛讲述了俄罗斯人眼中的叶利钦。现在很多俄罗斯人在各大报纸
生产自动化是数控刀片生产发展的方向,而国内数控刀片成检工序中转移、包装装盒都是靠手工移栽.本文设计了一款自动化生产设备——移栽设备,使数控刀片成检工序中刀片转移和
旧西藏,农奴阶级和奴隶阶级是西藏社会生产力发展的主体,是研究人力资源的重要对象.本文对西藏1959年民主改革之前,政教合一的封建农奴社会制度-人力资源的主体农奴阶级地位