论文部分内容阅读
以微悬臂梁的制造工艺为例，探讨了MEMS中的牺牲层腐蚀技术，对牺牲层材料的制备方法和腐蚀牺牲层材料得到微悬臂梁结构等工艺中的关键与核心技术作了详细阐述，从腐蚀机理的角度探讨了腐蚀速率及其影响因素。
牺牲层腐蚀技术在微悬臂梁器件制作中的应用
【摘 要】
：
以微悬臂梁的制造工艺为例，探讨了MEMS中的牺牲层腐蚀技术，对牺牲层材料的制备方法和腐蚀牺牲层材料得到微悬臂梁结构等工艺中的关键与核心技术作了详细阐述，从腐蚀机理的角度探
【机 构】
：
扬州市职业大学
【出 处】
：
科学技术与工程
【发表日期】
：
2009年14期
其他文献
对典型黄土丘陵沟壑区陕西延安羊圈沟小流域刺槐(Robinia pseudoacacia)、沙棘(Hippophae reamnoides)和杏树(Prunus armeniaca)人工林下土壤微生物功能多样性进行监测研究,旨在揭示不同的人工林对土壤微生物生物量及多样性的影响。研究结果如下:(1)3种人工林中刺槐林土壤微生物生物量碳(MBC)和微生物生物量氮(MBN)含量显著高于其他两种林地;(2)
分析了现有的基于率失真优化的图像帧编码模式选择方法，指出了该算法运算复杂度高的原因。提出了一种基于图像差值的快速编码算法，详细介绍了该算法的提出思想和可行性分析。给
2004年4月到2005年1月在我国东部海岸带盐沼上沿高程梯度采用静态箱技术原位测定二氯甲烷(DCM,CH2Cl2)和1,2-二氯乙烷(1,2-DCA,CH2CH2Cl2)气体通量。为确定高等植物对通量的贡献,进行了高等植物地上部分去除实验。也对通量与生态因子间关系进行了分析。研究结果表明:在高程梯度上,生长季(4~10月份)盐沼整体上表现为DCM和1,2-DCA的净汇,其中,米草带和光滩对DCM
介绍了锁相环调频发射机的原理,分析其传输特性,指出环路设计时应注意的问题。分析影响有源滤波器特性的因素,并对其仿真,验证该设计能够满足系统的要求。
为了较好地解决坑口电网中各类发电厂和变电站的信息融合和全方位监控,提高通信的可靠性问题,结合韩城矿务局煤矿电网的实际,提出了一种基于WorldFIP Bus/Internet新技术的坑
以红壤丘陵地植被恢复、生态环境改善和生产潜力发挥为目标,以优质笋用小径竹红壳竹Phyllostachys iridescens、早园竹Phyllostachys propinqua为对象,历时5 a定位研究竹子幼
Authorware以其丰富的媒体集成功能和强大的交互功能颇受课件制作者的青睐。本文主要介绍用Authorware制作课件的几则实用技巧。
摘要：本文介绍了一种基于校园网，并利用B/S结构实现的维修管理信息系统，该系统全面记录管理所有学校的硬件设备的基本信息和故障维修信息。本系统在校園网管理应用中取得了良好的效果。 关键词：校园网；维修管理系统；B/S结构 中图分类号：TP393 文献标识码：A 文章编号：1009-3044(2006)29-0215-02
序列比较的基本任务有：（1）对于两条长度相近的序列相似，找出序列的差别；（2）判断一条序列的前缀与另一条序列的后缀相似；（3）判断一条序列是否是另一条序列的子序列；（4）判断两条序列中是否有