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4．多层DLC膜沉积特性 由于类金刚石膜具有很高的硬度、化学惰性，特别高的热导率和电阻率，因此这种膜在工业上已经有着许多的应用，比如机械工业抗磨损，电子工业中的组装、钝化和散热等。这种膜属于脆性膜，具有很高的压缩应力，高应力膜在使用中往往引起薄膜弯曲，产生应变，薄膜与基体粘合力降低，从而导致薄膜失效。为了增加薄膜与基体的粘合力，