离子束多层膜制备技术和应用(下)

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4.多层DLC膜沉积特性 由于类金刚石膜具有很高的硬度、化学惰性,特别高的热导率和电阻率,因此这种膜在工业上已经有着许多的应用,比如机械工业抗磨损,电子工业中的组装、钝化和散热等。这种膜属于脆性膜,具有很高的压缩应力,高应力膜在使用中往往引起薄膜弯曲,产生应变,薄膜与基体粘合力降低,从而导致薄膜失效。为了增加薄膜与基体的粘合力,
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