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采用溶胶-凝胶方法制备了SnO2掺杂Sb的透明导电膜(简称ATO膜),并讨论了掺杂量和热处理条件对膜可见光透过率及膜电阻率的影响,用XRD,SEM,TG-DTA以及IR等研究了所得薄膜的结构性质,制备出导电性能优良的透明导电膜.
溶胶凝胶法制备掺杂锑（Sb）的透明导电膜
【摘 要】
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采用溶胶-凝胶方法制备了SnO2掺杂Sb的透明导电膜(简称ATO膜),并讨论了掺杂量和热处理条件对膜可见光透过率及膜电阻率的影响,用XRD,SEM,TG-DTA以及IR等研究了所得薄膜的结构
【机 构】
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大连轻工业学院
【出 处】
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大连轻工业学院学报
【发表日期】
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2002年4期
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