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采用磁控溅射法在SiO2〈0001〉基片上制备Fe54Pt46薄膜,并经过650℃原位真空退火1h.利用X射线衍射和振动样品磁强计对样品的结构和磁性进行研究.结果表明,经过原位真空退火后,样品发生了无序-有序相转变,得到了面心四方结构的L10-FePt纳米薄膜。样品的有序度为0.92,晶粒尺寸约为10nm,样品平行膜面的矫顽力为0.8MA/m,当磁场与膜面的夹角为50。时,矫顽力达到最大值,这与(111)面为能量最低面相符。