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介绍了MEMS封装技术，包括单芯片和多芯片封装技术。从适用性的观点出发，概述了当前的MEMS封装技术现状，并对其未来的发展趋势做出了分析。
MEMS封装技术现状与发展趋势
【摘 要】
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介绍了MEMS封装技术，包括单芯片和多芯片封装技术。从适用性的观点出发，概述了当前的MEMS封装技术现状，并对其未来的发展趋势做出了分析。
【机 构】
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电子十三所,河北建筑科技学院
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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2001年5期
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