【摘 要】
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Periodic microstructures on silicon bulk are formed by the irradiation of the femtosecond laser with the laser wavelength of 8OO nm and the pulse length of 130
【机 构】
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Center for Photo Manufacturing Science and Technology,Jiangsu University,Zhenjiang 212013
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Periodic microstructures on silicon bulk are formed by the irradiation of the femtosecond laser with the laser wavelength of 8OO nm and the pulse length of 130 fs.We investigate the surface periodic ripple structures produced by femtosecond laser treatment.The effects of feedrate of sample,v,on laser-induced surface topography are studied.We find that the femtosecond laser produce periodic ripples of the sub-micron level on silicon surface.At the same time,we realize the optimal conditions to produce these surface structures.When choosing N A=0.3,and v = 2000 μm/s or 3000 μm/s,we find a series of periodic-structure ripples where the spacing is about 120 nm and the width is about 450 nm.The experimental results indicate that femtosecond laser treatment can produce line arrays on the sub-micron level,which is a positive factor for fabricating grating and other optical applications in nanoscales.
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