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设计了一种新的紫外或深紫外光刻物镜.该物镜与国内外现有的紫外或深紫外光刻物镜相比,既能满足大数值孔径的需要,又能充分利用物镜的视场.采用环形照明,能缓解因增大数值孔径而使焦深缩短的矛盾.
一种紫外或深紫外光刻的1:1折反射式光学系统
【摘 要】
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设计了一种新的紫外或深紫外光刻物镜.该物镜与国内外现有的紫外或深紫外光刻物镜相比,既能满足大数值孔径的需要,又能充分利用物镜的视场.采用环形照明,能缓解因增大数值孔径而使焦深缩短的矛盾.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1993年13期
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期刊
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