论文部分内容阅读
介绍了利用电镀法制造晶圆凸点的典型工艺和喷镀设备。喷镀系统是凸点电镀设备中最关健的部件。通过计算机软件模拟试验，对喷镀系统中的喷杯体和匀流板等各种参数和位置进行了优化设计，并在设备上应用验证。该系统在凸点电镀设备上应用后，在晶圆片上成功做出了高质量的均匀凸点，取得了良好效果。
喷镀系统在凸点制备中的应用
【摘 要】
：
介绍了利用电镀法制造晶圆凸点的典型工艺和喷镀设备。喷镀系统是凸点电镀设备中最关健的部件。通过计算机软件模拟试验，对喷镀系统中的喷杯体和匀流板等各种参数和位置进行了
【机 构】
：
太原理工大学
【出 处】
：
电子工艺技术
【发表日期】
：
2009年3期
其他文献
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
在水泥混凝土中掺入膨胀剂制得的补偿收缩混凝土具有有效减少混凝土早期自收缩、降低混凝土结构开裂风险的良好性能.本文总结了各类膨胀剂的膨胀机理,结合国内外学者对膨胀剂
随着半导体技术的不断发展,新材料的使用,对晶片表面质量的要求也越来越高,传统的RAC清洗方法已不能满足其需求,因此,必须发展新的清洗方法。简要介绍了宽禁带半导体材料的特
通过对比掺与不掺膨胀剂的混凝土的早期自收缩及其胶凝材料体系的水化热和化学结合水量发展规律,研究了膨胀剂对低水胶比混凝土自收缩的补偿作用效果。结果表明:8%掺量(质量
近年来,我国核电站在高精尖设备研发及技术开发方面取得了长足的进步,形成了一系列具有代表性的出口产品,但是也有部分核电站设备和技术,仍然依赖进口,不利于核电设备的升级
近年来,大数据的发展一直备受关注,它的发展极大地便利了我们的生活,大家也越来越乐意接受它,使用范围也变得广泛,如今在高校教育管理中使用大数据也成了普遍现象。高校通过
电压融合问题是设计数字系统的关键技术之一，讨论了多电源电压混合时数字系统可能出现的问题及相应对策。
有关心律失常形成原理的研究进展余承高（同济医科大学生理学教研室武汉４３００３０）心律失常是心脏的兴奋机能紊乱，电活动失常的表现。根据心脏的电生理学特性，心律失常可分为三大类［１，２］：自律性异
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield