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研究了不同的腐蚀液对InSb表面及台面腐蚀特性,利用金相显微镜和轮廓仪对样品表面形貌和制作精度进行了表征。通过大量的实验对比,得到一种对InSb有很好腐蚀特性的腐蚀液,腐蚀速度易于控制,晶片腐蚀后的表面比较光滑、均匀;对台面的钻蚀小,提高了台面的制作精度及器件的性能,解决了现有工艺中的难题。
锑化铟的腐蚀特性研究
【摘 要】
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研究了不同的腐蚀液对InSb表面及台面腐蚀特性,利用金相显微镜和轮廓仪对样品表面形貌和制作精度进行了表征。通过大量的实验对比,得到一种对InSb有很好腐蚀特性的腐蚀液,腐
【机 构】
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中国空空导弹研究院
【出 处】
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红外技术
【发表日期】
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2011年6期
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