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本文采用有机金属化合物气相沉积（MOCVD）技术制备了可见光透过率】90％（厚度为10<sup>2</sup>-10<sup>4</sup>）、薄层方块电阻值为38-56Ω/□的SO<sub>2</sub>·A,多晶透明导电薄膜,并简要报道了利用X射线衍射、电子衍射、扫描电子显微镜以及紫外可见吸收光谱等方法对膜层结构及性能的研究结果。