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改良西门子法生产多晶硅的过程中会产生大量富含杂质的四氯化硅残液。国内大部分企业缺少有效的四氯化硅残液处置办法，严重制约多晶硅产能的释放以及成本的降低。本文针对这一问题，研发出了一种高效的四氯化硅残液回收工艺，并研究了压力、温度及四氯化硅蒸气净化除尘对残液回收工艺的影响。
多晶硅生产的残液高效回收技术
【摘 要】
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改良西门子法生产多晶硅的过程中会产生大量富含杂质的四氯化硅残液。国内大部分企业缺少有效的四氯化硅残液处置办法，严重制约多晶硅产能的释放以及成本的降低。本文针对这一
【机 构】
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中国恩菲工程技术有限公司,洛阳中硅高科技有限公司,河南省固体废物管理中心
【出 处】
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有色冶金节能
【发表日期】
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2015年3期
【基金项目】
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多晶硅材料制备技术国家工程实验室基金项目(201310-213)
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