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大面积头罩上类金刚石薄膜均匀性研究

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：define_misser

【作 者】

：

付秀华  杨永亮  刘国军  李琳  潘永刚 

【出 处】

：

红外与激光工程

【发表日期】

：

2013年01期

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