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设计了纳米级双面抛光机的控制系统，对其实现方法进行了研究，分析了控制系统的组成，提出并建立了基于微机统一控制系统的解决方案。采用Windows CE软件平台，图形化界面功能指示、高可靠性的实时操作系统、高精度光栅传感器、压力传感器、数字阀组成电气联合控制系统，应用新型电气直接数字控制技术实现该机的自动加工。