【摘 要】
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根据对掺三氯乙烯(TCE)干氧氧化的S iO2在不同配比氢氟酸缓冲腐蚀液(BHF)中的腐蚀特性的研究结果表明,在HF w t%保持不变的条件下,腐蚀速率先随着NH4F w t%的增大而上升;NH4F
【机 构】
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重庆邮电大学光电工程学院,重庆光电技术研究所
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根据对掺三氯乙烯(TCE)干氧氧化的S iO2在不同配比氢氟酸缓冲腐蚀液(BHF)中的腐蚀特性的研究结果表明,在HF w t%保持不变的条件下,腐蚀速率先随着NH4F w t%的增大而上升;NH4F大于15w t%~20w t%以后,腐蚀速率反而随之降低。值得注意的是,干氧S iO2同湿氧S iO2相比,在1w t%HF条件下,前者的腐蚀速率要比后者高,直到HF酸浓度大于3w t%时,前者的腐蚀速率才低于后者,这一现象可用NH4+阻挡模型结合TCE在S iO2中引入浅电子陷阱的方式得到解释。
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