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根据单电子系统半经典模型，采用蒙特卡罗法单电子模拟程序对电容耦合的类ＣＭＯＳ单电子逻辑单元在不同参数条件下转移特性进行数值模拟，这种模拟器的物理内涵是通过建立ｎ沟单电子晶体管（ＳＥＴ）开关单元、ｑ沟ＳＥＴ开关单元以及互补型ＳＥＴ开关单元的电容电压荷方程，然后根据隧道前后系统自由能的变化来确定系统的隧穿率，建立电流－电压方程来决定开关特性而得到的。