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本文讨论了在靶上获得所需要的均匀离子密度的离子束扫描条件。引用已经确认的多种分布模型:借助余弦曲线或标准分布曲线,发现可以减少扫描条数。同时给出了离子密度非均匀性的测量方法,并介绍了一些实验结果。
注入离子浓度的均匀性
【摘 要】
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本文讨论了在靶上获得所需要的均匀离子密度的离子束扫描条件。引用已经确认的多种分布模型:借助余弦曲线或标准分布曲线,发现可以减少扫描条数。同时给出了离子密度非均匀性
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1974年12期
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