温度对复制光栅衍射波前的影响

来源 :光谱仪器与分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiexp

【摘要】

：

本文针对复制光栅过程中 ,温度不稳定造成复制品衍射波前失真的问题进行了分析 ,并通过反复实验确定了复制光栅最佳稳定时间 ,从而提高复制光栅的一次成品率、母板利用率和使

【作者】

：

董会君

【机构】

：

北京北分瑞利分析仪器（集团）有限责任公司

【出处】

：

光谱仪器与分析

【发表日期】

：

2000年2期

【关键词】

：

复制光栅衍射波前图保真温度

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本文针对复制光栅过程中 ,温度不稳定造成复制品衍射波前失真的问题进行了分析 ,并通过反复实验确定了复制光栅最佳稳定时间 ,从而提高复制光栅的一次成品率、母板利用率和使用寿命

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