【摘 要】
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<正> 高级石墨公司早在1981年就开始了新型碳化硅生产工艺的开发工作,这项工作是在该公司位于Hop-kinsville,Ky.的石墨厂内的试验炉中进行的。这种方法后来被称为HSC(Hopkins
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<正> 高级石墨公司早在1981年就开始了新型碳化硅生产工艺的开发工作,这项工作是在该公司位于Hop-kinsville,Ky.的石墨厂内的试验炉中进行的。这种方法后来被称为HSC(Hopkinsville Silicon Carbide)工艺。HSC炉是一竖式圆筒形炉,其中心电极穿过炉盖并部分埋入粒状碳化硅流化床内。流态化所用的气体为氮气。
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