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表面粗糙度对精密加工工件的性能有着很大的影响。机械、电子及光学工业的飞速发展，对精密机械加工工件表面的质量及结构小型化的要求日益提高，使得表面粗糙度测量显现出越来越重要的地位。通过对表面粗糙度测量技术的发展历史、现状与发展趋势，本文阐述一种表面粗糙度测量仪的工作原理和性能，并对其相关问题做了讨论。