【摘 要】
：
骊山微电子公司研制的一种“湿法化学腐蚀装置”是一种用于腐蚀介质薄膜的装置,这种装置特别适用于半导体器件生产工艺中的氮化硅(Si_3N_4)介质薄膜的湿法腐蚀。该装置
Lis
论文部分内容阅读
骊山微电子公司研制的一种“湿法化学腐蚀装置”是一种用于腐蚀介质薄膜的装置,这种装置特别适用于半导体器件生产工艺中的氮化硅(Si_3N_4)介质薄膜的湿法腐蚀。该装置
Lishan Microelectronics developed a “wet chemical etching device” is a device for corrosive dielectric film, this device is particularly suitable for semiconductor device manufacturing process of silicon nitride (Si_3N_4) dielectric film wet method corrosion. The device
其他文献
采用市场化运作的公开竞标方式,将分散的产业转移资金集中起来办好一件大事,这不仅仅是财政资金分配的一种创新,也是财政人对自身的一种把握。在广佛都市圈西沿,肇庆市最东端
本文先用集团模型和电荷自治的EHT方法研究了Ⅶ族元素F在 Si(111)面的化学吸附,利用能量极小原理确定了化学吸附位置;在此基础上,采用薄片(SLAB)模型和EHT经验紧束缚方法对吸
Purpose: To compare the survival rates of patients with exfoliative glaucoma ( XFG) and those with primary open-angle glaucoma (POAG), and to establish whethe r
他有很多身份:中国珠宝玉首饰行业协会副秘书长,国内哈雷车主会元老。画过微型油画,跑过赛车,号称家藏千壶千砚。最邪乎的是表,据说收了上千只古董、名牌表,拆了,只留机芯。
导演组给他的时限是6分半钟,结果他超出了整整两分钟。刘谦祖籍江西九江1976年6月25日出生于台湾高雄1988年获大卫·科波菲尔颁发全台湾少儿魔术比赛冠军1998年“Formosa Int
2009年上半年刚刚过去,中国电影再度迎来一个创纪录的数字—前六个月,内地电影票房达到了23亿元,比2008年同期的15.8亿元整整多出了7.2亿元。业内人士估算,按照这一趋势和下
背景:纤维连结蛋白(Fibronection,FN)在炎症中起修复作用,能否用于治疗顽固性角膜上皮缺损,尚无定论。目的:观察人血浆纤维连结蛋白(FN)对顽固性角膜上皮缺损的修复作用。设
2008年12月29日,由国家林业局主办的“辉煌林业30年展”在北京王府井大街文化广场开幕,全国人大常委会副委员长乌云其木格出席开幕式。乌云其木格在参观展览时强
On Decembe
2001年8月,通过公开招考,我被录为县纪检委检查员.离开校园,我却未离开,现在,我仍自费订阅着,同时,业余为一些小学生学习类报刊写些稿件.
本文叙述了用红外光谱分析法对真空油扩散泵及其设备进行泵液返流率的测定。该方法简便、精度高。一般可测量泵液返流率达10~(-7)毫克/厘米~2分。它还可以测定真空系统中泵液