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为了研究纳米颗粒在火焰中的形成机理，基于电子低压撞击器建立燃烧法合成纳米颗粒的在线表征系统。在扩散火焰中通过氧化六甲基二硅氧烷蒸气制备二氧化硅纳米颗粒；使用该表征系统研究火焰底部、中部和上部的颗粒的粒子数浓度和粒径的关系，提出燃烧法合成纳米颗粒的可能的形成机理。结果表明：火焰区域可以分为化学反应区、凝并区和聚集区。颗粒历经化学反应、成核、凝并、团聚而形成最终颗粒。