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本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0～20MPa,工作温度-55°～300℃,精度0.2～0.5％,满度输出100±20mV,平均寿命(MTTF)≥1×10~6次。
高可靠SOS固态压力传感器
【摘 要】
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本文报导了高可靠SOS压力传感器研制的实验结果,特别是可靠性试验方法和应用效果。所得传感器的主要性能为:量程0～20MPa,工作温度-55°～300℃,精度0.2～0.5％,满度输出100±
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,黑龙江省电子技术研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1990年4期
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