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本文阐述了碎片产生的原因、危害及对工艺的影响和碎片的控制方法.
碎片的工艺控制研究
【摘 要】
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本文阐述了碎片产生的原因、危害及对工艺的影响和碎片的控制方法.
【机 构】
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无锡微电子科研中心
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2001年2期
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