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用蒙特卡罗（MonteCarlo）方法计算Au—SiOz界面的剂量增强系数（DEF）随能量的变化关系及不同厚度的Au对Au—SiOz界面剂量增强系数的影响。结果表明：界面下的DEF与Au的厚度有关，当Au厚度从1gm增加到9tam，DEF随之增大；当Au厚度超过9tam，随Au厚度增加DEF减小。当x射线能量为10～250keV时，界面附近SiO。一侧存在不同程度的剂量增强，而且在整个能量范围内出现了两个明显的峰值，其中剂量增强系数最大值达40．4。