纯位相片光学互连实验研究

来源 :光电子．激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：qwer32173

【摘要】

：

本文给出一维互连系统中纯位相片计算结果,介绍用反应离子刻蚀制备纯位相片的方法以及用此位相片进行一维互连的实验结果。实验结果与理论计算相符。

【作者】

：

张静娟许超高士平平

【机构】

：

中国科技大学研究生院,中国科学院微电子研究中心

【出处】

：

光电子．激光

【发表日期】

：

1992年5期

【关键词】

：

光学互连纯位相片反应离子刻蚀 optical interconnection phase-only masks ion-etching.

【基金项目】

：

国家自然科学基金

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

其他文献

固位纤维在下前牙松牙固定术中的应用研究

目的评价2种不同纤维夹板固定牙周炎所致下前牙松动牙的临床疗效。方法选取符合病例纳入标准的44例中重度牙周炎患者随机分为2组,每组22例,分别应用BIOSPLINT固位纤维和Fiber

期刊

牙齿松动度/治疗牙周夹板

棒针疗法

<正> 棒针疗法起源于我国,它是在中医的经络原理指导下,以针灸疗法和推拿八法为基础发展起来。清乾隆年间记载入医学百科全书上。一九一九年陈伯甫氏侨居国外,以此行医,传到

期刊

经络不通

非极性(11-20)a面GaN薄膜MOCVD生长及性质研究

本论文利用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)方法生长了非极性(11-20)a面GaN薄膜,并利用光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)和高分辨率X射线衍射系统(HR-XRD)分别深入分

期刊

非极性(11-20)a面GaN薄膜金属有机化合物化学气相沉积结构各向异性Non-polar(11-20)a-plane Gallium nitride

中国汉族6～18岁儿童青少年身高标准及生长迟缓发生情况

<正>生长迟缓(Stunting)是指儿童青少年的身高水平或者身高生长速度明显落后于相应同龄儿童。在世界各国、尤其是发展中国家,生长迟缓是普遍存在的儿童健康问题。联合国儿童

会议

大力发展新能源产业

无论是按照国家现行的政策还是与发达国家的比较来看．大力发展新能源仍将是我国的必然选择。然而，部分新能源产业出现了一些过热的苗头也值得我们警惕。为了健康发展我国新能源

期刊

新能源产业发达国家产业发展

GLOBE计划进展

ＧＬＯＢＥ计划进展中国国家环境保护局局长解振华与美国商务部部长布朗于１９９５年１０月１８日在北京签署了“中美关于有益于环境的全球性学习与观察计划合作协议（ＧＬＯＢＥ计划）”。美国副总统戈尔在北京时间１７日

期刊

青少年儿童环境保护局美国副总统全球环境培训班环境教育环境保护委员会青少年科技活动美国科罗拉多州数据交换

斯托克斯参量测量中探测系统的误差校准

本文就Stokes参量测量中探测系统的误差成因进步了分析,给出了一种校准检偏——探测系统的方法。

期刊

光束Stokes参量探测误差校准

砷化镓超晶格量子阱反射式光调制器

<正> 半导体砷化镓超晶格量子阱反射式光调制器是八十年代后期发展起来的一种新颖的光电混合型光逻辑开关器件。它利用超晶格量子阱二维自由激子吸收在外电场作用下的非线性

期刊

砷化镓光调制器超晶格量子阱反射式

狭缝和矩形光阑对频谱的影响

本文研究了不相干光源通过傅里叶变换系统后产生的二次光源，通过矩形和狭缝光阑后的频谱变化，产生的频移取决于光阑与光源空间相干长度的比，且与圆形光阑产生的频移作了比较，两者

期刊

光阑频谱狭缝矩形Partially coherent light spertral shift.

城市地下综合管廊防水设计

简要介绍了地下综合管廊防水设计要点,分析了造成地下综合管廊渗水漏水的原因,并就防水对策及设计方案进行了详细的阐述,指出将综合管廊运用到城市建设环节,有利于优化城市基

期刊

地下综合管廊防水设计渗漏水

纯位相片光学互连实验研究

其他学术论文