PED沉积La-Sr-Cu-O薄膜表面的有序纳米结构

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【摘要】

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采用脉冲电子束沉积(PED)技术在Si(100)衬底上生长La-Sr-Cu-O薄膜,在750℃生长温度下获得具有有序纳米结构的表面形貌.采用聚集离子束(FIB)技术对获得的纳米结构进行表征,结

【作者】

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陈雷明李培刚符秀丽张海英李玲红唐为华

【机构】

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浙江理工大学物理系,中国科学院物理研究所,Department of Physics

【出处】

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物理学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

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脉冲电子束沉积 La-Sr-Cu-O薄膜纳米结构

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采用脉冲电子束沉积(PED)技术在Si(100)衬底上生长La-Sr-Cu-O薄膜,在750℃生长温度下获得具有有序纳米结构的表面形貌.采用聚集离子束(FIB)技术对获得的纳米结构进行表征,结果表明,这种有序的纳米结构是由于Si衬底和La-Sr-Cu-O薄膜之间的热膨胀系数和晶格的失配引起的纳米裂纹.在这些纳米裂纹处,La-Sr-Cu-O成核生长获得独立的纳米线.通过控制这种有序的纳米结构的生长,这种有序的纳米结构可以用来构造弱连接形成的器件.

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