声学梳谱信号产生器件的探索

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：boyzhxj

【摘要】

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介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振

【作者】

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朱昌安周勇穆晓华郑泽渔徐阳司美菊田亚

【机构】

：

中国电子科技集团公司第二十六研究所

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2015年06期

【关键词】

：

声学梳谱信号高次谐波声体波谐振器压电换能器氧化锌薄膜品质因数(Q)值

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介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137GHz的品质因数(Q)值达到23 000。进一步开展氧化锌成膜工艺技术的研究,实现对HBAR设计修正,提升器件的Q值。

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