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本文通过在硅微接触表面上涂覆低表面能的憎水性OTS膜以除去接触面间的表面张力,把两表面均接地以除去接触面间的静电力,研究了仅有范德华力作用时硅微结构接触表面的粘附.根据实际粗糙表面凸峰自相似的高度分布,计算了发生粘附后,微观接触表面产生弹性和塑性变形的两种情况下的范德华粘附能,分析了表面形貌对其影响.