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在大量试验的基础上,总结了磁控溅射中海绵的传动特性,设计了微张力海绵卷绕系统,建立了传动控制的数学模型.经大量试验和使用证明,该设计满足了磁控溅射中海绵卷绕的要求.
磁控溅射中的海绵卷绕设备研究
【摘 要】
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在大量试验的基础上,总结了磁控溅射中海绵的传动特性,设计了微张力海绵卷绕系统,建立了传动控制的数学模型.经大量试验和使用证明,该设计满足了磁控溅射中海绵卷绕的要求.
【机 构】
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华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心,湖北,武汉,430074
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2003年1期
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