金刚石声表面波器件的研究与进展

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高频无线通讯系统的迅速发展推动了对高频声表面波(SAW)器件需求的不断增大.金刚石具有最高的声速和许多优于其他材料的特性,因此金刚石声表面波器件受到了越来越多的关注.本文介绍了金刚石声表面波器件的构成、制备方法,讨论了金刚石声表面波器件近年来国际上的研究进展,包括理论研究与实验进展的概况,并讨论了金刚石声表面波器件的未来发展趋势.
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