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用新技术对大直径GaAs晶体生长炉的提拉及旋转系统进行设计,并对系统结构、运动精度进行综合分析.
GaAs晶体提拉及旋转系统的设计分析
【摘 要】
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用新技术对大直径GaAs晶体生长炉的提拉及旋转系统进行设计,并对系统结构、运动精度进行综合分析.
【机 构】
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西安理工大学,西安工业学院
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2003年4期
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