“SE+PERC”单晶硅太阳电池制绒工艺中微观绒面的研究

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制绒是太阳电池表面处理过程中不可或缺的环节,制绒效果的好坏直接决定了太阳电池光电转换效率的高低,而金字塔尺寸的大小与排列的均匀程度是表征制绒效果的重要参数,同样会影响太阳电池的光电转换效率.以采用选择性发射极(SE)及钝化发射极和背接触(PERC)技术的单晶硅太阳电池(即“SE+PERC”单晶硅太阳电池)为例,通过调整该太阳电池制绒工艺中的工序内容,测试了工序内容调整后硅片制绒面的金字塔尺寸,测试结果显示:在制绒槽排出的溶液量与补加进去的溶液量相等的基础上,增加粗抛时的减重,降低NaOH溶液浓度或提高制绒添加剂的浓度,均可形成小而均匀的金字塔结构的绒面,从而可降低制备的“SE+PERC”太阳电池的接触电阻和漏电流,提升其光电转换效率.
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