光学镜面间距测量技术研究进展

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhonghuiling2009

【摘要】

：

透镜作为光学系统中最基本的光学元件,其中心厚度的加工误差和装配精度将直接关系到整个光学系统的成像质量.对镜面间距非接触测量技术进行了研究,重点介绍了图像法、轴向色散法、差动共焦法、低相干光干涉法等方法的测量原理和研究进展,指出了这些方法的优缺点和适用范围.这些方法都能满足一般光学系统的精度要求,其中低相干光干涉法测量精度最高,轴向色散法、差动共焦法次之,图像法测量精度最低.对光学镜面间距测量技术的发展趋势进行了论述.

【作者】

：

师中华杨宝喜魏张帆李璟黄惠杰

【机构】

：

中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,上海201800中国科学院大学,北京100049

【出处】

：

激光与光电子学进展

【发表日期】

：

2015年52期

【关键词】

：

测量镜面间距图像法轴向色散法差动共焦法低相干光干涉 measurement lens gap imaging method axial dispers

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