【摘 要】
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高功率KrF准分子激光振-放(MOPA)系统的研究工作在1998年的主要目标是完成KrF激光MOPA系统单束注入放大联调。主要工作及成果如下:(1)电子束泵浦预放大器安装、调试,每100ns脉宽达30J;(2)主放大器稳定运行(平行平面腔
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高功率KrF准分子激光振-放(MOPA)系统的研究工作在1998年的主要目标是完成KrF激光MOPA系统单束注入放大联调。主要工作及成果如下:(1)电子束泵浦预放大器安装、调试,每100ns脉宽达30J;(2)主放大器稳定运行(平行平面腔与非稳腔分别达到
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