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扫描隧道显微镜研究ＧａＡｓ（１００）表面微缺陷陈坚邦，刘鸿飞（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：扫描隧道显微镜，微缺陷，抛光工艺（一）引言随着半导体器件向高速度、高集成度方向迅速发展，微电子技术从微米技术进入到纳米技术，从而对作为衬底的半导体...
扫描隧道显微镜GaAs（100）表面微缺陷
【摘 要】
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扫描隧道显微镜研究ＧａＡｓ（１００）表面微缺陷陈坚邦，刘鸿飞（北京有色金属研究总院１０００８８）关键词：扫描隧道显微镜，微缺陷，抛光工艺（一）引言随着半导体器件向高速度、高集成度方向迅速发展，微电子技术从微米
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1995年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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