PMOS剂量计的长期室温退火

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为掌握PMOS剂量计的应用方式并提高其应用精度,研究了PMOS剂量计的辐照剂量记录-阈电压在室温下的长期退火表现。结果表明:氧化物电荷的隧道退火与界面态的后生长效应是造成退火的原因,PMOS剂量计辐照及贮藏偏置是决定其退火方向和程度大小的重要因素。负偏置条件能较好地保持其辐照记录,在正偏置贮存下的退火较大。
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