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针对测量旋转型亚毫米波天线反射面型面误差精度低的问题,提出了基于三坐标测量机的测量方案。为消除接触测量时球形测头半径的影响,将设计的面天线向测头方向做法向等距面,形成半径补偿后的面天线。以轴向偏差为最小二乘拟合量,利用坐标变换将测量数据由测量坐标系转换到设计坐标系中,转换时考虑了天线反射面的边界约束问题。得到了旋转型天线反射面的型面误差。6次重复性测量得到的型面误差的变化量不超过4μm。