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MEMS惯性测量组合是制导系统的关键部件,其失效将给整个系统带来严重的后果。针对某一MEMS惯性测量组合的失效现象,列出失效故障树,准确地定位了失效部位,最后分析了其失效原因。对分析过程进行了详细描述,以期对同类产品开展失效分析工作提供借鉴作用。
MEMS惯性测量组合失效分析
【摘 要】
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MEMS惯性测量组合是制导系统的关键部件,其失效将给整个系统带来严重的后果。针对某一MEMS惯性测量组合的失效现象,列出失效故障树,准确地定位了失效部位,最后分析了其失效原
【机 构】
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国家半导体器件质量监督检验中心
【出 处】
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电子质量
【发表日期】
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2018年12期
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