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提出了一种磁铁层和线圈层均能振动的电磁能量采集器方法，设计了磁铁、线圈、支撑层组成的“三明治”结构，并用COMSOL软件对其进行了模态、静态和谐响应仿真，结果表明：设计的结构可实现400Hz以下6个振动模态，5个方向振动能量的采集，为进一步工艺生产奠定了基础。
基于MEMS的多模态电磁式能量采集器设计与仿真
【摘 要】
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提出了一种磁铁层和线圈层均能振动的电磁能量采集器方法，设计了磁铁、线圈、支撑层组成的“三明治”结构，并用COMSOL软件对其进行了模态、静态和谐响应仿真，结果表明：设计的结构
【机 构】
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河北工业大学电子信息工程学院,滨州学院航空工程学院,中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2018年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(41401384);滨州市科技发展计划项目(2014ZC0307,2015ZC0210)
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