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随着微组装工艺技术和设备的发展,许多先进工艺涉及多个输入参数和输出响应,而且参数间具有不同程度交互作用,使得传统的以经验为主的试误法或一次改变一个参数的试验方法并不能满足这些先进工艺的要求.利用实验设计技术,通过建立关键工艺参数与输出响应之间的统计模型,实现了对微组装中金丝球形键合工艺过程的统计表征.试验结果表明,该模型的预测值与实测值吻合较好,可进一步用于工艺过程的设计与参数优化.