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在980nm波长的大功率垂直腔面发射激光器（VCSEL）的基础上制备了高输出功率的微小孔阵列半导体激光器,其最大输出光功率达到了1mW。介绍了针对微小孔阵垂直腔面发射激光器的特殊制备工艺,并对其特性进行了分析。
微小孔阵列垂直腔面发射激光器的研究
【摘 要】
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在980nm波长的大功率垂直腔面发射激光器（VCSEL）的基础上制备了高输出功率的微小孔阵列半导体激光器,其最大输出光功率达到了1mW。介绍了针对微小孔阵垂直腔面发射激光器的特殊
【机 构】
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河北理工大学信息学院,中国科学院半导体研究所纳米光电子实验室
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2010年5期
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