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本文对四个不同电流容量的进口SBD管芯进行纵向结构的解剖与分析。阐述了金属-半导体表面势垒、多层金属（或合金）的元素、厚度及合金的成份比等。为研制SBD管器件提供了参考。
肖特基二极管(SBD)结构解剖与分析
【摘 要】
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本文对四个不同电流容量的进口SBD管芯进行纵向结构的解剖与分析。阐述了金属-半导体表面势垒、多层金属（或合金）的元素、厚度及合金的成份比等。为研制SBD管器件提供了参考。
【机 构】
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中国华晶电子集团公司技术支援中心!无锡,214061
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1999年4期
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