【摘 要】
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本文从实验上研究了环境温度、流体温度和芯片温度对热导式硅流量传感器性能的影响。所得出的结果为有效的温度补偿提供了理论与实验的依据,并可望用于实际应用。
In this p
【机 构】
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东南大学微电子中心,东南大学微电子中心,东南大学微电子中心,东南大学微电子中心,东南大学微电子中心
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本文从实验上研究了环境温度、流体温度和芯片温度对热导式硅流量传感器性能的影响。所得出的结果为有效的温度补偿提供了理论与实验的依据,并可望用于实际应用。
In this paper, the influence of ambient temperature, fluid temperature and chip temperature on the performance of thermal conductivity silicon flow sensor has been studied experimentally. The results obtained provide theoretical and experimental basis for effective temperature compensation, and are expected to be used in practical applications.
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