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【摘 要】
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描述了一种在超精密磨削机床上基于误差分离法的非球面表面形状精密测量系统.首先,论述了一般用于平面形状测量的两点法不能直接用于非球面形状测量的原因在于测头的设置误差
【机 构】
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日本东北大学纳米机械系纳米系统工程研究室
【出 处】
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纳米技术与精密工程
【发表日期】
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2004年3期
【基金项目】
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日本学术振兴会资助项目
其他文献
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